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离子注入气体(离子注入气体)

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020/01/17 1:10:24 * 浏览: 3
离子注入气体(GasesforIonImplantation):离子注入将P +,B +,As +等离子化杂质加速到高能态,然后将其注入到预定的衬底上。离子注入是控制Vth(阈值电压)的最广泛使用的方法。可以通过测量离子电流来获得注入的杂质的量。离子注入过程中使用的气体称为离子注入气体,并且存在磷基,硼基和砷基气体。